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制程监控

制程监控窗口提供完整的实时监控与制程执行功能。从主菜单点击「制程监控」打开。

窗口布局

实时数据面板

左侧显示控制器实时数值:

  • 温度控制器

    • PV(Process Value):当前测量温度
    • SV(Set Value):目标温度
    • Output:输出百分比
    • 连接状态指示灯
  • 压力控制器

    • PV:当前测量压力
    • SV:目标压力
    • Output:输出百分比
    • 连接状态指示灯

实时图表

中央区域显示温度与压力的实时趋势图,可直观观察数值变化趋势。

影像预览

右侧显示 Chronos 高速相机的实时影像预览。未连接相机时显示「No Camera」placeholder。

制程信息栏

底部显示当前 Session 代码、配方名称、操作者、经过时间与制程状态。

启动制程

制程启动采用步骤向导(Step Wizard)引导:

Step 1:选择配方

  1. 从下拉菜单中选择一个已启用(Active)的配方。
  2. 输入本次制程名称(系统会自动生成默认名称)。
  3. 确认操作者名称。

Step 2:设备检查与写入配方

Step 2 分为三个区块:

区块 1 — 连接检查

显示温度控制器、压力控制器与相机的连接状态指示灯。可勾选「忽略相机」跳过相机连接检查。

区块 2 — 写入配方

针对温度控制器与压力控制器分别提供「Write」与「Read」按钮,并以状态标记(「Not Written」/「Written」)显示各控制器的写入状态。也可使用「Write All Controllers」一次写入两台控制器。

写入后系统会自动进行 Readback 验证,确认控制器参数与配方一致。

区块 3 — 控制器 Readback

以表格显示从控制器读回的分段参数(字段:#、T-SV、T-TM、T-OUT、P-SV、P-TM、P-OUT),供操作者核对。

高级设置:展开「Advanced Settings」可设置 PTN(Program Pattern,1–15)与 SV.TY(Set Value Type),支持各控制器的读取与写入。

Step 3:启动与监控

  1. 点击「Start Process」前,系统会自动验证控制器参数是否与配方一致。若检测到差异,会弹出参数不匹配警告(ParameterMismatchDialog),操作者可选择「返回修正」或「继续执行」。
  2. 确认后系统会自动:
    • 开始记录制程数据
    • 启动 Chronos 高速相机录制(若已连接)
    • 创建 Session 文件夹
  3. 运行中画面显示:
    • 实时趋势图(温度 PV/SV、压力 PV/SV)
    • 温度径向仪表(0–500°C)与压力径向仪表(0–10 MPa)
    • Session 信息(代码、配方、操作者、经过时间、制程状态)

手动 PV 刷新

当制程未在运行中时,可点击「Refresh PV」按钮手动读取温度与压力控制器的 PV、SV 及 Output 值。此功能用于确认控制器当前状态,在制程运行中时按钮会被禁用。

刷新期间会暂停轮询服务,以避免 COM Port 冲突。

制程执行中

制程运行时:

  • 实时数据每 500 毫秒更新一次
  • 温度/压力趋势图持续绘制(最多保留 60 个数据点,每秒更新一次)
  • 制程数据自动记录至 CSV 文件
  • Chronos 高速相机持续录制
  • 状态栏显示经过时间与进度百分比

停止制程

点击「Stop Process」按钮停止制程。系统会:

  1. 停止控制器程序执行
  2. 停止 Chronos 高速相机录制并保存视频
  3. 保存制程数据摘要(session_info.json)
  4. 将制程状态设为 Completed

制程数据存储

每次制程会在文件夹中创建以下结构:

Sessions/
└── PROC-20260306143000/
├── session_info.json # 制程摘要信息
├── RawData/
│ └── process_data.csv # 原始数据记录
└── Videos/
├── segment_001.mp4 # 视频分段 1
└── segment_002.mp4 # 视频分段 2

连接状态指示

颜色状态
绿色已连接,通讯正常
灰色未连接
红色连接错误