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配方管理

配方编辑器用于创建和管理制程配方。从主菜单点击「配方编辑器」打开。

窗口布局

  • 左侧:配方列表,可搜索与筛选
  • 右侧上方:配方基本信息(名称、代码、描述、分类、状态)
  • 右侧中间:步骤编辑区域
  • 右侧下方:控制器配方参数(温度 / 压力分段设置)

创建新配方

  1. 点击「New」创建新配方。
  2. 填写配方信息:
    • Name:配方名称
    • Code:配方代码(唯一标识码)
    • Description:描述说明
    • Category:分类
    • State:初始状态(Draft / Active)
  3. 点击「Save」保存配方。

编辑控制器配方

温度与压力控制器的配方分别编辑,各控制器最多 8 个分段(受控制器硬件限制)。

新增分段

  1. 点击「Add Segment」新增分段。
  2. 在分段表格中直接编辑参数:
字段说明默认值
SV目标值(温度 °C / 压力 kPa)温度 25.0 / 压力 0.0
Time (min)持续时间(分钟)1.0
Output Limit (%)最大输出限制100.0

调整步骤顺序

  • 选择步骤后,使用「Move Up」或「Move Down」调整顺序。

删除步骤

  • 选择步骤后,点击「Remove Step」删除。

下载配方至控制器

  1. 确认配方参数设置完成。
  2. 确认控制器已连接(可在设备设置中测试连接)。
  3. 点击「Send to Controller」。
  4. 系统会显示参数预览,确认后发送。
  5. 写入流程:
    • 停止控制器程序
    • 设置加热/冷却模式(压力控制器固定为 Heating 模式)
    • 写入分段参数

若两个控制器使用同一条 RS-485 总线,系统会自动以串行方式传送(先温度再压力);若使用不同总线,则会并行传送以节省时间。

手动 Readback 验证

配方写入控制器后,可通过「Read」按钮手动读回控制器的分段参数,以确认写入是否正确。

Readback 结果以表格显示:

字段说明
#分段编号
T-SV温度目标值
T-TM温度持续时间
T-OUT温度输出限制
P-SV压力目标值
P-TM压力持续时间
P-OUT压力输出限制

系统会自动跳过空白分段(所有值为零的分段)。

参数不匹配警告

在制程监控的 Step 3 启动制程时,系统会自动比对控制器内的参数与所选配方。若检测到差异,会弹出 ParameterMismatchDialog,显示差异明细:

字段说明
Controller控制器名称
Seg #分段编号
Parameter参数名称
Recipe配方中的值(绿色)
Controller控制器中的值(红色)

操作者可选择:

  • 返回修正:回到 Step 2 重新写入配方
  • 继续执行:以控制器当前的参数继续启动制程

配方状态管理

状态说明
Draft草稿,可编辑,不可用于制程
Active启用,可用于制程执行
Archived封存,不再使用

在配方信息区域选择目标状态后保存,即可变更配方状态。

搜索配方

在左侧搜索栏位输入关键字,可按配方名称或代码搜索。

导入/导出

配方导入与导出功能预计于后续版本提供。